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金融界2024年12月31日消息,国家知识产权局信息显示,扬州扬杰电子科技股份有限公司取得一项名为“立式氧化炉氮气吹扫装置”的专利,授权公告号CN 222226651 U,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,立式氧化炉氮气吹扫装置,涉及半导体加工设备。
包括底部环、上部环和若干氮气管;若干所述氮气管均布固定设置在底部环与上部环之间;所述底部环上设有若干与氮气管适配的进气孔;所述氮气管上设有若干从上而下均布设置的吹气孔;所述吹气孔朝向与之相邻的氮气管方向吹气。
本实用新型有益效果:进舟时通过PLC控制,使氮气管通入氮气,晶圆片处于氮气氛围下,隔绝氧气,阻值薄层氧化层的生成,进舟结束后,停止氮气的通入。
出舟时PLC指令通入氮气,同样使晶圆片处于氮气氛围下,隔绝氧气,阻值薄层氧化层的生成,出舟结束后,延时30分钟,停止氮气通入。
本文源自:金融界作者:情报员
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